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WO3薄膜退火热处理工艺的研究  
WO3薄膜退火热处理工艺的研究
资料类型: PDF文件
关键词: WO3  SEM  XRD  薄膜  退火  
资料大小: 272K
所属学科:
来源: 来源网络
简介:
采用真空镀膜工艺在微晶玻璃衬底上沉积了WO3薄膜,WO3薄膜从300~600℃分别进行了退火热处理,随着退火热处理温度的不同,WO3薄膜从晶粒尺寸上以及晶相上都发生了较大的变化,并用SEM、XRD等手段进行了分析,随着退火热处理温度的升高,WO3晶粒逐渐增大,并实现了从非晶向晶态的转变,最终得到了六方结构并且是在[100]方向上择优取向的WO3薄膜,获得了稳定性较好的工艺条件,为进一步开发研制WO3气敏元件提供了大发排列3基础。
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上传时间: 2007-07-06 16:16:06
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相关评论 共有3人发表评论 更多评论
LPT2006    2009-01-06 10:28:26
还行,挺有帮助的!
sunyusunyu77    2008-11-21 21:17:32
我觉得这篇文章不错
sunyusunyu77    2008-11-21 21:13:16
这篇文章不是特别的好,但是非常感谢
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